一、原理结构 图1是用于敏感旋转载体横滚（或俯仰）角速率的硅微机械陀螺结构图，1为单晶硅质量，2为单晶硅弹性扭转支撑梁，3为玻璃电极极板，4为玻璃电极极板上蒸镀的金属电极。玻璃极板和质量之间的间隙为20μm，玻璃板的四个电极和质量之间形成四个电容器。坐标系OXYZ固定于陀螺的质量上， ?为质量沿OY轴的摆动角速度，φ为载体的旋转角速度， Ω为载体的横滚（或俯仰）角速度（即被测角速度）。陀螺固定于旋转载体上，当旋转载体以φ 角速度旋转的同时又有横滚（或俯仰）角速度Ω 输入时，单晶硅质量就受到周期性变化的哥氏力（哥氏力变化频率为载体旋转频率）作用，使质量产生沿OY轴摆动，从而引起由单晶硅质量和玻璃电极构成的四个电容器C1 、C2、C3、C4 的变化，把电容变化信号转换成电压变化信号之后经放大，便得到和被测角速率Ω 成比例的电压信号。 二、技术指标 三、用途 本陀螺用于敏感旋转体的横滚（或俯仰）角速率，例如，飞行体的横滚或俯仰角速率，钻井钻头垂直度和稳定度的控制等，它具有廉价、体积小、重量轻、功耗低、产品一致性好，性能稳定等特点。
硅微机械陀螺B01
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图1 陀螺结构
滚动角速度
1～25r/s
零位偏置
≤0.5°/s
俯仰和偏航角速度
300°/s
零位漂移
≤0.03°/s/h
分 辨 率
≤0.1°/s
供电电源
±15VDC, ≤18mA
比例系数
30 mV/°/s
工作温度
-40℃～+55℃
非线性度
≤1%FS
储存温度
-55℃～+70℃
输出方式
正弦波调幅信号
冲击
正谐振动半周期150g,6ms
振动
任意方向随意振动:10g(f=20～2000Hz)
加速度
任意方向的线加速度:40g;
沿自旋轴的线加速度:75g;
重 量
8克(敏感元件)
15克(包括电路)外形尺寸
20*20*5 mm3 （敏感元件）
35*35*10 mm3（包括电路）CRS-A01微机械陀螺
量程 ±200°/s(可选)
比例系数 （15mV±5 mV）/°/sec
比例系数温度特性 ＜0.05％/℃
零位电压范围 0±100 mV
零位变化（全温度） 7°/sec
加速度影响 ＜0.05/sec/g
起动时间 ＜3sec（Typical）
频响 ＞50Hz
线性度 ＜0.05％
供电电压 ±15V
供电电流 ≤20mA
工作环境：
工作温度 -40℃ ～ +80℃
储存温度 -55℃ ～ +100℃
振动 6g，20～2000Hz，三分钟
冲击 500g，半正弦
重量 100g
CRS-T01型微机械陀螺惯性组合
1. 三轴角速度陀螺
1.1 测量范围 ≥±150°/s
1.2 线性度 (F.S) 0.1%
1.3交叉耦合 0.1%
1.4 分辨率 0～±5°/s ≤0.002°/s
±5°/s～±150°/s ≤0.02°/s
1.5零位漂移 ≤±0.01°/s/h (1σ)
1.6 零位逐次启动重复性 ≤±0.01°/s (1σ)
1.7 带宽 ≥50HZ
2. 三轴线加速度计
2.1 测量范围 ≥30 g
2.2 线性度 (F.S) 5×10―4
2.3 交叉耦合 5×10―4
2.4 零位综合误差 ≤3×10―4 g
2.5 带宽 ≥100HZ
3. 环境适应性
3.1 工作温度 －40℃～＋60℃
3.2 储存温度 －55℃～70℃
3.3 振动 20～2000HZ 6g，1分钟， 轴向。
3.4 冲击 100g，持续时间：5～8ms，三方向。
4. 工作电源 28±3V 电流：≤0.5A
加热电源 28±3V 电流：≤3A
5. 外形尺寸 φ120mm×150mm
6. 重量 3.5kg
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